第三代玻璃通孔技术研究及应用

报告题目：第三代玻璃通孔技术研究及应用

报告时间：2025年5月16日 14：00

报告地点：立言楼 458

报 告 人：张万里，男，1966年2月生，重庆铜梁人，中共党员，教授，博士生导师。现任电子科技大学集成电路科学与工程学院院长，电子薄膜与集成器件国家重点实验室副主任（兼），IEEE会员、中国微米纳米技术学会高级会员，中国电子学会元器件分会委员，四川省高等学校优秀共产党员，四川省学术技术带头人，国务院政府特殊津贴获得者，入选国家“有突出贡献中青年专家”和“国家百千万人才工程”。在电子科技大学先后获得应用化学学士、材料物理与化学硕士和材料学博士学位，主要从事电子薄膜材料与器件（结构功能一体化薄膜与器件、微波功能薄膜与器件、集成敏感薄膜与传感器芯片、微系统器件集成技术）的本科教学、研究生培养和科学研究工作。先后短期访问过俄罗斯莫斯科动力学院、圣彼得堡国立电工大学、乌克兰基辅大学、美国威廉.玛丽学院、德国卡尔斯鲁厄研究中心和亥姆霍兹德累斯顿-罗森道夫研究中心。已培养硕士研究生40人，指导博士研究生10人。先后主持和承担包括国家自然科学基金面上/重点、973重大基础研究、科技部国际合作专项、“863计划”重点项目、国家重点研发计划项目等在内的科研项目30余项；目前，担任国家重点研发计划项目“高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片研发”技术首席。在APL、JAP、J3M、JMCA等刊物上发表学术论文100余篇，其中被SCI收录80余篇，参编教材1部。主要研究成果获2018年国家技术发明二等奖（排名1）、2007年国家技术发明二等奖（排名2），以及GF科学技术奖、教育部技术发明奖、科技进步奖以及四川省科技进步奖等，授权发明专利50件，推动了相关核心电子薄膜材料与器件的创新发展。